В течение пяти лет в России будет создан первый отечественный литограф для микрочипов, сообщил агентству ТАСС руководитель научного направления Национального физико-математического центра РАН академик Александр Сергеев. По словам Александра Сергеева, первые образцы отечественных литографов появятся в течение двух лет.
В течение двух лет мы выпустим так называемую "альфа-машину" - машину, которая подтвердит правильность выбранной технологии и покажет, что литография работает. Следующая версия будет представлять собой сложную машину ........ Ее можно будет поставлять в микроэлектронную промышленность.
Он добавил, что реальная задача литографа - показать, что все компоненты технологии работают вместе: "Это источник рентгеновского исследования, это рентгеновская оптика, которая точно отражает фоторезист, это фоторезист, это система позиционирования с нанометровой точностью.